徠卡共聚焦顯微鏡掃描電鏡的使用

徠卡共聚焦顯微鏡的電鏡操作使用相對(duì)比較簡(jiǎn)單。但是要得到滿(mǎn)意的結(jié)果，同樣要認(rèn)真對(duì)待。首先要注意樣品的制備，尤其是生物醫(yī)學(xué)樣品的制備更是—項(xiàng)專(zhuān)門(mén)而復(fù)雜的技術(shù)。對(duì)有些非導(dǎo)電樣品，為防止其充電造成圖像假象，須要在表面蒸涂一定的金屬導(dǎo)電層。因此如何掌握噴蒸條件也是應(yīng)該注意的。

除樣品制備外，將電鏡調(diào)整在良好狀態(tài)也是重要的一環(huán)。和透射電統(tǒng)一樣，電鏡對(duì)中是調(diào)整工作的*步，其次就是對(duì)有關(guān)物理量的正確選用。

1．末光閱和工作距離一當(dāng)樣品表面祖循而且要求使用低放大倍數(shù)時(shí)，可以用小孔徑的末光鬧和長(zhǎng)工作距離。因?yàn)檫@樣可以得到長(zhǎng)景深。此時(shí)為保證足夠的信號(hào)強(qiáng)度，可適當(dāng)減小聚光鏡電流以加大束流。徠卡共聚焦顯微鏡在高放大倍數(shù)下，只要對(duì)分辨率要求不太高，可選用大孔徑光闌和短工作距離。為提高分辨率，則必須減小末光闌的孔徑。

2．加速電壓一加速電壓的選擇主要決定于樣品的特性，而與所用的放大倍數(shù)關(guān)系不大除特殊情況外一般可選用20kv甚至10kv檔電壓。降低電壓可提高襯度。但必須以犧牲分辨率為代價(jià)。如樣品有明顯充電，則應(yīng)把加速電壓降到10kv以下。

3．在徠卡共聚焦顯微鏡觀察下的樣品的傾角一在二次電子成象模式中，樣品應(yīng)有一定傾角，一般以30°為宜。對(duì)于特別平坦的表面以采用大于45°為好。當(dāng)要求觀察樣品上的茸毛或垂直于表面的凸出物時(shí)，傾角應(yīng)接近90°。

在高分辨工作中，徠卡共聚焦顯微鏡尤其要認(rèn)真選擇聚光鏡激勵(lì)電流的強(qiáng)弱和末光闌孔的大小。既要保證一定束流以壓縮圖像中的噪聲，又要使樣品處電子束的孔徑角和柬斑不致太大。在高分辨工作中，尤其要認(rèn)真選擇聚光鏡激勵(lì)電流的強(qiáng)弱和末光闌孔的大小。既要保證一定束流以壓縮圖像中的噪聲，又要使樣品處電子束的孔徑角和柬斑不致太大。

除工作條件的選擇外，徠卡共聚焦顯微鏡電鏡的使用還包括對(duì)功能的選擇。掃描電鏡除主機(jī)用于二次電子像的觀察分析外，常常還可加配許多附件，利用樣品發(fā)出的其他信號(hào)進(jìn)行分析。前面提到的背散射電子成像單元就是一種基本的附件。此外還有，用于對(duì)樣品作元素分析的x射線分析儀（包括波譜儀）；用于分析半導(dǎo)體樣品的各種感生電信號(hào)功能附件，包括樣品電流像、電子束感生電動(dòng)勢(shì)像和感生電流像的顯示單元等；有用于研究發(fā)光物質(zhì)的陰極熒光單元，包括陰極熒光像和陰極熒光光譜分析等，尤其是有機(jī)材料的陰極熒光技術(shù)在生物學(xué)和醫(yī)學(xué)研究中有較多應(yīng)用。

掃描電鍍和其他儀器的組合也是當(dāng)前的一個(gè)重要方向。徠卡共聚焦顯微鏡的掃描電鏡和透射電鍍結(jié)合形成的掃描式透射電子顯微鏡（sTEM），當(dāng)采用場(chǎng)發(fā)射電子槍和加配電子能量損失譜儀后，便是一種很好的高分辨分析儀器。掃描電鏡和俄歇（Au8er）電子能量分析儀的結(jié)臺(tái)可使表面顯微分析更有成效。環(huán)境掃描電鍍實(shí)際上是一種背散射電子模式的低真空掃描電鏡，它可以直接觀察接近自然條件下的樣品、包括某些引起生物和礦物材料的動(dòng)態(tài)變化過(guò)程。此外掃描電子鏡式顯微儀和電子束刻蝕加工設(shè)備等也日益引起更多人的關(guān)注。

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